MoC掺杂Ru基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究后印本

作者： 邹建雄 ¹ 刘波 ¹ 林黎蔚 ¹ 任丁 ¹ 焦国华 ¹ 鲁远甫 ¹ 徐可为 ¹
作者单位：

1. 四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室，成都 610064
提交时间：2016-11-15 17:02:59

摘要: 本文采用磁控共溅射Ru和MoC靶制备非晶RuMoC薄膜。分别采用四探针仪（FPPT）、X射线光电子能谱仪（XPS）和小角掠射X射线衍射仪（GIXRD）表征不同组分RuMoC单层薄和Cu/RuMoC/p-SiOC:H/Si多层膜的电阻率、微观结构和成分随退火温度的演变规律。结果表明：通过调控Ru膜中掺入Mo和C元素的含量能够实现RuMoC合金薄膜微结构设计及抑制膜体残余氧含量，且当MoC和Ru靶的溅射功率为0.5时获得的薄膜RuMoC II性能最好；500℃退火后非晶RuMoC II薄膜中Mo-C和Ru-C化学键百分含量变化不大，高温下两者协同作用抑制了Ru基薄膜再结晶和膜体氧含量升高，是Cu/RuMoC II/p-SiOC:H/Si多层膜系在500℃温度下具有优异热稳定性和电学性能的主要机制。本文研究结果证实了非晶RuMoC薄膜有望用作下一代先进无籽晶铜扩散阻挡层。

非晶 RuMoC 无籽晶阻挡层热稳定性铜互连

链接： http://www.ams.org.cn/CN/abstract/abstract24894.shtml
分类： 材料科学 >> 材料科学（综合）

期刊：

金属学报

投稿状态： 已在期刊出版
引用： ChinaXiv:201611.00747 (或此版本 ChinaXiv:201611.00747V1)
DOI:10.12074/201611.00747V1
CSTR:32003.36.ChinaXiv.201611.00747.V1
科创链TXID： e4235739-edf7-4074-b85e-89ef4ba29ea5
推荐引用方式： 邹建雄,刘波,林黎蔚,任丁,焦国华,鲁远甫,徐可为.MoC掺杂Ru基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究.金属学报:https://chinaxiv.org/abs/201611.00747.[ChinaXiv:201611.00747V1] (点此复制)

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2016-11-15 17:02:59

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